在 2025 湾区半导体产业生态博览会上，苏州新施诺半导体设备有限公司携自主研发的 AMHS（自动化物料搬运系统）核心装备 ——OHT（天车系统）实机亮相，凭借卓越性能与国产替代贡献斩获 “2025‘湾芯奖’之卓越企业奖”。这一亮相不仅彰显了中国企业在半导体智能物流领域的技术突破，更标志着晶圆厂 “空中高速公路” 的自主化建设迈入关键阶段。在 AI 算力与先进封装之外，AMHS 正成为半导体制造智能化的核心赛道，承载着物料流转与数据传输的双重使命，为 AI 驱动的良率优化筑牢数据根基。

   在12 英寸晶圆成为行业主流的当下，物流系统的效率与稳定性已成为制约良率和产能的关键因素。在半导体制造的数千道工序中，单片晶圆单次生产周期的流转距离超 20 公里，需在数百台设备间完成上千次搬送。一座 12 英寸晶圆厂的 OHT 轨道总长可达数十公里，每日搬运任务高达几十万次，其复杂程度堪比中等城市的立体交通网络。
 

   更为严苛的是，极限工艺下的 AMHS 系统需达到 “五个九” 的极致稳定性（可用性 99.999%），任何短暂停机都可能导致整条产线停摆，造成数百万至上千万的经济损失。OHT 系统因此被誉为晶圆厂的 “神经中枢”，不仅要完成物料精准搬运，更需维护洁净环境、保障生产连续性，并搭建产能调度的数据桥梁，成为半导体制造不可或缺的核心基础设施。
技术破局：新施诺的国产化实践与核心优势

   长期以来，高端 AMHS 市场被日韩厂商垄断，国内企业多局限于配套环节。2020 年后，受国际技术封锁与供应链风险影响，AMHS 国产化上升至战略高度。新施诺应运而生，由新松机器人、中芯聚源等产业投资方联合发起，依托全资子公司韩国 SynusTech 四十余年的 AMHS 工程经验，在短短两年内完成了从样机验证到大规模部署的跨越式发展。